在設(shè)備或人體上的靜電最高可達(dá)數(shù)萬伏以至數(shù)十萬伏,在正常操作條件下也常達(dá)數(shù)百至數(shù)千伏。人體由于自身的動作及與其它物體的接觸-分離、磨擦或感應(yīng)等因素,可以帶上幾千伏甚至上萬伏的靜電。
靜電是正、負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果。它是一種電能,留存在物體表現(xiàn),具有高電位、低電量、小電流和作用時間短的特點(diǎn)。
靜電控制的主要措施有:靜電的泄漏和耗散、靜電中和、靜電屏蔽與接地、增濕等。靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業(yè)最普遍、最嚴(yán)重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或永久性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降。
靜電敏感元器件和印制電路板在生產(chǎn)過程中工序之間的傳遞和儲放,必須使用防靜電上料箱、元件盒、周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)托盤等。以防止靜電積累造成危害。靜電敏感元器件和印制電路板,作為成品進(jìn)行包裝時必須采用防靜電屏蔽袋、包裝袋、包裝盒、條、筐等,避免運(yùn)輸過程中的靜電損害。
電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中,其元器件、組件成品經(jīng)常與設(shè)備工具等發(fā)生接觸、分離,磨擦而產(chǎn)生靜電,必須使用防靜電坐墊、周轉(zhuǎn)小車、維修包、工具、工作椅(凳)等,并通過適當(dāng)?shù)慕拥?,使靜電迅速泄放。磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,但產(chǎn)生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產(chǎn)生的靜電電荷放電,因此必須予以控制。
帶靜電的物體,在其周圍形成靜電場,會產(chǎn)生力學(xué)效應(yīng),放電效應(yīng)和靜電感應(yīng)效應(yīng)。由于靜電的力學(xué)效應(yīng),空氣中的浮游的塵粒會吸附到硅片等電子元器件上,嚴(yán)重影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量,因此,對凈化工作空間必須采取防靜電措施。凈化室的墻壁、天花板和地板等都應(yīng)采用防靜電的不發(fā)塵材料,對操作人員及工件、器具也應(yīng)采取一系列的靜電防護(hù)措施。為了解生產(chǎn)過程靜電起電情況,判別生產(chǎn)過程中靜電的影響程度以及檢驗(yàn)防靜電產(chǎn)品批發(fā)用品、裝備質(zhì)量都需要測量靜電及有關(guān)參數(shù)。
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